MEMS振荡器对机械应力的抗扰度，MEMS振荡器已经变得非常流行,在许多领域稳步取代晶体振荡器应用程序。MEMS振荡器提供一些重要的相对于晶体的优点，例如改善的可靠性和对机械应力的抵抗性以及平坦,在宽温度范围内的稳定性能。 MEMS振荡器还提供了灵活性,可以对多路输出进行编程和配置时钟生成。

基于晶体的振荡器已经使用了几十年,每当给定应用需要稳定、低抖动的时钟有源晶振。近年来，出现了一种新技术,使用MEMS构建谐振器。MEMS振荡器提供了一些明显优于晶体的优点。首先,它们坚固可靠，因为它们可以承受机械冲击、振动、弯曲和跌落，这要归功于它们的封装结构,对共鸣器的一种自然保护。第二，MEMS谐振器具有伪线性温度,易于补偿的系数；这保证稳定的时钟频率(意味着低ppm),整个温度范围高达+125°C以及其他。

很容易看出这两个特征是如何制造MEMS振荡器非常适合一些苛刻的工业，以及汽车应用。此外，MEMS结构是紧凑的，并且使得振荡器的生产能够适应微小的小至1.6毫米x1.2毫米的封装.

MEMS振荡器提供了一些明显优于晶体的优点，MEMS振荡器已经变得非常流行，在许多领域稳步取代晶体振荡器，消费电子、工业、汽车和 部分在网络和电信领域。 以下部分将更详细地介绍 MEMS振荡器对各种类型的电阻 机械应力。

阻力与机械挠曲,进一步的实验是通过放置5cmx5cm PCB上的MEMS振荡器和固定PCB的一侧，同时弯曲另一侧 机械力的一面。该MEMS振荡器 放在距离弯曲边1.5厘米的地方。PCB是 弯曲3mm和6mm，并以高分辨率频率测量MEMS振荡器输出时钟 倒数三分钟，之前，之后，和期间它被弯曲的时间。结果显示稳定性与测得的初始频率值的关系。

MEMS振荡器的输出时钟变化较小,最大值不超过2ppm，这凸显了MEMS振荡器对机械振动是鲁棒的和有弹性的应力，例如由PCB弯曲引起的应力。

ppm偏差与初始频率进行比较,冲击测试前的值。假设最小和MEMS振荡器已经过机械测试振动，请遵循 军事和航空航天标准MIL-STD-883。这机械振动试验遵循方法规则，试验条件C:装置牢固固定 振动平台通过保持连接电缆 足够安全。该装置振动简单 峰值加速度为70g的谐波运动。这 振动频率在以下范围内呈对数变化 20赫兹和2000赫兹，持续4分钟。 在每个方向上重复测试四次 x，Y，Z(共12次)共48分钟。

ppm偏差与初始频率进行比较 振动测试前的值。假设最小值 和最大值是在3 sigma (99.73%)上计算的， 值得注意的是，最大频率变化为 只有5.23 ppm。

MEMS振荡器完全不受机械 由跌落、弯曲、冲击或振动引起的应力。这种抗扰性增强了它们的可靠性 使其适用于恶劣环境，例如 工业和汽车应用中的那些。由于这个重要的属性，以及一些 其他优势，如宽温度范围内的平坦稳定性 范围、灵活性、可编程性和小尺寸， MEMS振荡器已经变得非常流行在许多领域稳步取代晶体振荡器，消费电子、工业、汽车和 电信。