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希华时钟晶体振荡器提供领先全球的理想方案

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浏览:- 发布日期:2023-09-28 16:57:00【
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希华时钟晶体振荡器提供领先全球的理想方案,随着各种高速串流资料讯号广泛使用,需要更高频的时脉讯号源,但传统机械(研磨)工法,已无法满足更高的频率需求,遂将半导体晶圆制程应用在石英晶片产业,使高频化、小型化、高精度振荡器产品得以实现,工法如下

1.应用光蚀刻工法,可轻易在wafer状态(晶圆级)下,一批次将数万颗石英晶体振荡器完成厚度加工达到所需要的频率。

2.同样应用光蚀刻工法,在wafer状态下,一批次将数万颗晶体振荡器完成晶片外型,且用光蚀刻法轻易将产品小型化,尺寸一致性更高,精度更好。

3.接着用同样工法完成发振区电极回路。

图20

为什么要光刻?

1.小型化
(目前可至0806)
采用半导体制程,满足客户小型化产品需求

2.高频化
(max500MHz)

3D设计凹槽结构,强化晶片刚性满足客户高频化需求

3.高精度
(Accuracy 2um)

批次生产,高对位精度产品,满足客户对电性及品质稳定度的需求

光蚀刻制程克服高频晶片技术障碍

图22

由于石英晶片机械加工极限厚度约30um (55MHz),所以更高频率晶片(一般指基本波60MHz以上),需采用光蚀刻制程克服技术障碍。
* 石英晶片厚度越薄,晶体单元的频率越高,传统晶片采用机械加工厚度有局限性,最薄约30um(55MHz左右振荡频率)
* 使用光蚀刻制程,可3D结构设计阶梯结构及凹槽结构,强化晶片刚性,让振荡区厚度不受局限,使产品更易小型化、高频化、特性更好。希华时钟晶体振荡器提供领先全球的理想方案.

由于更高频率晶片厚度偏太薄,晶片刚性不够,使用光蚀刻制程,结构可阶梯结构3D化设计,让振荡区厚度不受局限,一般可达到3~30um的技术需求,如图示:

图24

传统晶片 & 光蚀刻晶片比较

产品品质比较

采用光蚀刻制程在稳定度及精密度均优于传统制程晶片,品质一致性高

光蚀刻制程优点:

1. 采用批次生产,稳定度高
2. 采用半导体制程满足小型化、薄型化、高精密度产品需求

图25

传统晶片制程:

1. 此作法先将石英晶柱,经2次线切割形成单体小晶片
2. 单体晶片再经研磨、斜面加工、组装镀膜,变异度高
3. 不易进行薄型化、小型化精密加工

图26

产品电性比较

采用光蚀刻制程在电性表现上优于传统制程晶片,因为光蚀刻结构的Mesa AT晶片,具有以下特点:
1. 可精确掌控晶片尺寸
2. 3D结构设计
使得每个石英晶振的特性都可达到非常稳定的一致性,所以频率特性较传统晶片稳定,如图

图27


希华晶体承诺所有的运作皆遵守本地国家的法律,并符合国际上所共同认知环保与社会责任的标准,成为一个创造股东最大权益、照顾员工、善尽社会责任的好公司。

敏锐地掌握电子产品轻薄短小化、快速光电宽频传输与高频通讯的发展主流,致力于开发小型化、高频与光电领域等产品,与日本同业并驾齐驱。且深耕微机电(MEMS)技术领域,加速导入TF SMD Crystal的量产,藉以扩大公司营收规模并且提升获利空间。 

Mfr Part # Mfr Supplier Description Series Frequency Frequency Tolerance Load Capacitance
XTL721-Q23-048 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL72 32.768 kHz ±20ppm 6pF
XTL721-S349-005 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL72 32.768 kHz ±20ppm 7pF
XTL721-S999-301 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL72 32.768 kHz ±20ppm 9pF
XTL721-S999-429 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL72 32.768 kHz ±20ppm 6pF
XTL741-S999-319 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL74 32.768 kHz ±20ppm 9pF
XTL741-U11-402 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL74 32.768 kHz ±20ppm 7pF
XTL741-S999-298 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL74 32.768 kHz ±20ppm 12.5pF
XTL741-S999-379 希华晶振 Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL74 32.768 kHz ±20ppm 7pF
XTL741-S999-327 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL74 32.768 kHz ±20ppm 4pF
XTL721-S999-286 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL72 32.768 kHz ±20ppm 12.5pF
XTL751-S999-544 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL75 32.768 kHz ±20ppm 12.5pF
XTL751-S999-548 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL75 32.768 kHz ±20ppm 9pF
XTL751-S999-420 Siward Siward CRYSTAL 32.768 KHZ 20PPM CRYSTAL XTL75 32.768 kHz ±20ppm 7pF
希华晶体科技成立于1988年,专精于石英频率控制元件之研发、设计、生产与销售。从人工晶棒长成到最终产品,透过最佳团队组合及先进之生产技术,建立完整的产品线,包含人工水晶、石英晶片、SAW WAFER,以及石英晶体、时钟晶体振荡器、晶体滤波器、温度补偿型及电压控制型产品等,以健全的供应炼系统,为客户提供全方位的服务。